高真空角（L 形）閥，用于防止泵在過載時運行。

[功能]

·初始排氣閥和主排氣閥一體化（兩段式流量控制閥）

? 實現系統緊湊化和節省配管? 排氣時防止灰塵在腔室內卷起

? 初始排氣閥流量可調

? 氣動型/帶電磁閥

? 由于排氣量少，因此泵容量小，可縮短排氣時間

? 不含Ni（鎳）和Cr（鉻）等重金屬，濺射率低，因此晶圓上的重金屬污染很少

? 強氟

·均勻的烘烤溫度。導熱性好，全身溫度均勻，大大降低產品粘附性重量輕、結構緊湊

類型氣動真空閥 應用一次性使用

安裝方向直接 端口數2 通閥

開關類型2 位常閉 管口類型法蘭

法蘭類型欽哲基金會 法蘭公稱40

密封類型波紋管密封 Sonic Speed Conductance45 升/秒

引燃港方向翼緣面，左 溫度范圍（°C）5 至 60

開關部件號無自動切換（帶內置磁鐵） 開關數量無開關

密封材料FKM 1349-80 泄漏量（Pa·m3/s）內部：1.3 × 10-10，外部：1.3 × 10-11

體表處理外部： 硬質陽極氧化鋁， 內部： 基材 密封更換位置沒有

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2024/12/17